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31:

var grid: array of array of tcheckbox;
....

procedure Button1Click(sender: Tobject)
var i,j,f,zeilen,spalten: integer;
begin
val(edit1.text,zeilen,f);
val(edit2.text,zeilen,f);

//Array erzeugen
setlength(grid,zeilen);
for i := 0 to length(grid)-1 do
 setlength(grid[i], spalten);

//Checkboxen erzeugen
for i:= 0 to length(grid) -1 do 
begin
 for j := 0 to length(grid[i])-1 do
  begin
    grid[i,j] := tcheckbox.create(panel2);
    grid[i,j].name := 'g'+inttostr(i)+inttostr(j);
    grid[i,j].left := 40 + i* 20;
    grid[i,j].top := 70 + j*30;
    //soweit alles ok. und jetzt???
    grid[i,j].bringtofront //bringt nichts, ebensowenig "repaint" oder "paintto" oder   
//was auch immer...
   
  end;
end;

end;					

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//... global 
arr : Array[1..5]  of TCheckBox;
//...

procedure TForm1.Button1Click(Sender: TObject);
var i : Integer;
begin
  for i := 1 to 5 do
  begin
    arr[i] := TCheckBox.Create(self);;
    arr[i].parent := Form1;
  end;
end;					

1:

grid[i,j].Parent := Panel2;